靶材种类

1.常规金属氧化物靶材：氧化靶材MgO，氧化锰靶材MnO，氧化铁靶材FeO，氧化钴靶材CoO，氧化镍靶材NiO，氧化铜靶材CuO，氧化锌靶材ZnO，氧化铅靶材PdO，氧化锡靶材SnO，氧化铝靶材Al2O3.
2.稀有金属氧化物靶材：氧化铟靶材InO2，氧化锗靶材GeO2，氧化镓靶材Ga2O3，氧化靶材Sb2O3，氧化铋靶材Bi2O3，氧化镉靶材CdO，氧化钛靶材TiO，氧化靶材ZrO2，氧化铪靶材HfO2，氧化钒靶材V2O5，氧化铌靶材Nb2O5，氧化钽靶材Ta2O5，氧化铬靶材CrO，氧化钼靶材MOO3，氧化钨靶材WO3，氧化铼靶材ReO，氧化碲靶材TeO2，氧化硼靶材B2O3，氧化靶材SeO2.
3.贵金属氧化物靶材：氧化金靶材AuO，氧化钯靶材PdO，氧化铂靶材PtO2，氧化铱靶材IrO2，氧化钌靶材RuO2，氧化铑靶材Rh2O3.
4.稀土金属氧化物：氧化镧靶La2O3、氧化铈靶CeO2、氧化镨靶Pr6O11、氧化钕靶Nd2O3、氧化镝靶材Dy2O3、氧化钐靶Sm2O3、氧化铒Er2O3靶、氧化铥靶Tm2O3、氧化钬靶Ho2O3、氧化铕靶Eu2O3、氧化镱靶材Yb2O3、氧化镥靶材Lu2O3、氧化钇靶材Y2O3、氧化钪靶材Sc2O3、氧化钆靶材Gd2O3、氧化铽靶材Tb2O3稀土陶瓷靶材及稀土掺杂靶材.
5.碲化物靶材：碲化铜靶材CuTe、碲化锌靶材ZnTe、碲化铅靶材PbTe、碲化锡靶材、碲化铟靶材In2Te3、碲化靶材Sb2Te3、碲化铋靶材Bi2Te3、碲化锗靶材GeTe2碲化铁靶材FeTe、靶材CdTe..
6.化物靶材：化铜靶材CuSe、化亚铜靶材Cu2Se、化锌靶材Zn Se、化铅靶材Pb Se、化锡靶材SnSe、化铟靶材In2 Se 3、化靶材Sb2 Se 3、化铋靶材Bi2 Se 3、化锗靶材Ge Se 2、化镓靶材Ga2Se3、化铁靶材Fe Se、化钴靶材CoSe2、化镍靶材NiSe2、化钛靶材TiSe、化铪靶材HfSe、化镉靶材CdSe、化铬靶材CrSe、化钽靶材TaSe.
7.化物靶材：化锌靶材ZnS、化铜靶材CuS、靶材CdS、化铟靶材InS、化钼靶材MoS2、化铁靶材FeS、化铅靶材PbS、化锡靶材SnS、化镍靶材NiS、化钽靶材TaS2、化铋靶材BiS、化靶材SbS、化锗靶材GeS、化铁靶材FeS2.
8.氮化物靶材：氮化铝靶材AlN、氮化钛靶材TiN、氮化镓靶材GaN、靶材MgN、氮化硅靶材Si3N4、氮化硼靶材BN、氮化铜靶材CuN、氮化铌靶材NbN、氮化钽靶材TaN、氮化铬靶材CrN、氮化靶材ZrN.氮化钙靶材CaN.
9.碳化物靶材：碳化硅靶材SiC、碳化硼靶材BC、碳化铁靶材FeC、碳化钛靶材TiC、碳化钽靶材TaC、碳化铬靶材CrC、碳化铪靶材HfC、碳化靶材ZrC、碳化钨靶材WC、碳化铌靶材NbC、碳化钒靶材VC、碳化钴靶材CoC.
10.硼化物靶材：硼化镧靶材LaB6、硼化铈靶材CeB6、硼化铽靶材TbB6、硼化铕靶材EuB6、硼化钐靶材SmB6、硼化铪靶材HfB、硼化钛靶材TiB、硼化铬靶材CrB、硼化钒靶材VB、硼化靶材ZrB、硼化铁靶材FeB、硼化钽靶材TaB、硼化铌靶材NbB、硼化镍靶材NiB、硼化钼靶材MoB、硼化硅靶材SiB、硼化铝靶材AlB、硼化靶材MgB、硼化钡靶材BaB、硼化钨靶材WB、硼化钴靶材CoB、硼化钙靶材CaB、硼化镍靶材NiB.
11.氟化物靶材：氟化钆靶材GdF、氟化钇靶材YF、靶材LaF、氟化镱靶材YbF、氟化铒靶材ErF、氟化钬靶材HoF、氟化铈靶材CeF、氟化铽靶材TbF、氟化铕靶材EuF、氟化镨靶材PrF、氟化钐SmF、氟化撸靶材LuF、氟化镝靶材DyF、氟化钕靶材NdF、氟化钪靶材ScF、氟化靶材MgF、靶材BaF、氟化纳靶材NaF、氟化铝靶材AlF、氟化钛靶材TiF.
12.硅化物靶材：硅化铝靶材AlSi、硅化铬靶材CrSi、硅化镍靶材NiSi、硅化钨靶材WSi、硅化铪靶材HfSi、硅化靶材ZrSi、硅化铌靶材NbSi、硅化钒靶材VSi、硅化锰靶材MnSi、硅化钼靶材MoSi、靶材MgSi、硅化钛靶材TiSi、硅化铁靶材FeSi、靶材CaSi.
13.特种复合物陶瓷靶材：氧化锌铝靶材AZO、氧化铟锡靶材ITO、钛酸钡靶材BaTiO3、钛酸锶靶材SrTiO3、钛酸锶钡靶材BaSrO3、铁酸镥靶材LuFeO3、钛酸镨靶材PrTiO3、钛酸铅靶材PbTiO3、酸铅靶材PbZrO2、钛酸铅靶材PbZrTiO3、铁酸铋靶材BiFeO3、钌酸锶靶材SrRuO3、铌酸靶材LiNbO3、钽酸靶材LiTaO3、铁酸铋镥靶材LuBiFeO3、铋酸钡靶材BaBiO3、钴酸钡靶材BaCoO3、铜酸钡靶材BaCuO2、铁酸钡靶材BaFe12O19、锰酸钡靶材BaMnO3、铬酸铋靶材BiCrO3、钐酸铋靶材BixSm(1-x)O3、酮酸钙靶材CaCuO2、锰酸钙靶材CaMnO3、钛酸钙靶材CaTiO3、铁酸钴靶材CoFe2O4、镝钡铜氧靶材DyBa2Cu3O7、钬钡铜氧靶材HoBa2Cu3O7，钇钡铜氧靶材Y Ba2Cu3O7，钴酸铒靶材ErCoO3、镓钡铜氧靶材GaBa2Cu3O7、铬酸钆靶材GdCrO3、钪酸钆靶材GdScO3、铜酸镧靶材，La2CuO4、酸镧靶材La2Zr2O7、铝酸镧材LaAlO3、钴酸镧靶材LaCoO3、铬酸镧靶材LaCrO3、铁酸镧靶材LaFeO3、锰酸镧靶材LaMnO3、镍酸镧靶材LaNiO3、镧钡钴氧靶材LaxBa(1-x)CoO3、镧钙钴氧靶材LaxCa(1-x)CoO3、镧钙钴氧靶材LaxCa(1-x)MnO3、镧钙锰氧靶材LaxSr(1-x)CoO3、镧锶锰氧靶材LaxSr(1-x)CoO3、镧锶铁氧靶材LaxSr(1-x)FeO3、镧锶钛氧靶材LaxSr(1-x)TiO3、镧锶铜氧靶材LaxSr(2-x)CuO4、锰酸镥靶材LuMnO3、铜酸钕靶材Nd2CuO4、钕钡铜氧靶材NdBa2Cu3O7、铁酸镍靶材NiFe2O4、钛酸铅靶材PbZrxTi(1-x)O3、
镨钡铜氧靶材PrBa2Cu3O7、钴酸镨靶材PrCoO3、镨钙锰氧靶材PrxCa(1-x)MnO3、锰酸钪靶材ScMnO3、钐钡铜氧靶材SmBa2Cu3O7、钪酸钐靶材SmScO3、钴酸锶靶材SrCoO3、铜酸锶靶材SrCuO2、铁酸锶靶材SrFe12O19、锰酸锶靶材SrMnO3、铁酸钇靶材Y3Fe5O12、铝酸钇靶材、镱锰氧靶材YbMnO3等。