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1.常规金属氧化物靶材:氧化镁靶材MgO,氧化锰靶材MnO,氧化铁靶材FeO,氧化钴靶材CoO,氧化镍靶材NiO,氧化铜靶材CuO,氧化锌靶材ZnO,氧化铅靶材PdO,氧化锡靶材SnO,氧化铝靶材Al2O3. 2.稀有金属氧化物靶材:氧化铟靶材InO2,氧化锗..